一、MEMS陀螺仪是什么材料？
MEMS陀螺仪是一种由硅微加工而成的光盘，被激发后以明显高于要测量的运动带宽的速率振动。
当光盘沿一个轴振动时，如果沿其敏感轴旋转，则会产生科里奥利力，该力将振动力发送到正交轴上，该正交轴被测量并与旋转的角速度成比例。由于其测量特性，它可提供准确的角位移，且延迟和超调量极低。
二、什么是MEMS陀螺仪技术？
MEMS陀螺仪即硅微机电陀螺仪，绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。mems陀螺仪的特点: MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理，将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号，其核心部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、LIGA技术、封装技术等批量生产的，它主要特点是
1. 体积小、重量轻，其边长都小于 1mm，器件核心的重量仅为1.2mg。
2. 成本低
3. 可靠性好，工作寿命超过 10 万小时，能承受1000g 的冲击。
4. 测量范围大
三、mems惯性传感器现状与发展趋势？
主要表现在以下几个方面：
1. 性能指标：MEMS惯性传感器的性能指标正在不断提高，其精度、分辨率、反应速度、耐受性能等都在不断改善，从而满足不同应用需求。
2. 尺寸：MEMS惯性传感器的尺寸也在不断减小，从而可以满足更多应用需求。
3. 成本：随着技术的发展，MEMS惯性传感器的成本也在不断降低，从而使它们能够更广泛地应用于各种不同的应用领域。
4. 兼容性：MEMS惯性传感器也可以与其他传感器兼容，从而实现多传感器整合，提供更精确的测量结果。
5. 可靠性：MEMS惯性传感器也在不断提高可靠性，从而可以更好地服务于各种应用场景。
四、mems传感器为何没法大批量生产？
制作的难度太大。
主要是因为在目前的MEMS工艺基础上，传感器从设计到量产需耗费大量的精力，想要加快MEMS传感器的量产速度，需要业界找到加速MEMS开发的方式。在某种程度上，传感器的量产难度甚至超造“芯”。希望我的回答能够帮助到你。