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BA级管件(管件b系列)

来源:www.haichao.net  时间:2023-01-20 09:32   点击:57  编辑:admin   手机版

1. BA级管件

气体输配管道选材的原则

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valley height)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。

目前在国内洁净管道可参照标准比较少,通常我们除了参照《洁净厂房设计规范》《氢气站设计规范》《氢氧站设计规范》《压缩空气设计规范》等有关技术行业技术规范外,在业内我们惯用的选材与配管一般参照国际通用的行业标准:

在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露点的要求也越来越高。各线宽下对超纯氮气的要求:

高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀;

氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀;

高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀;

氩气(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀;

氦气(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀;

特气系统:必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀;

压缩空气(CDA):系统管道采用光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的球阀(要求不高的公司亦可采用铜管,视工艺要求定);

对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高;

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体,通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内,再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB, Valve Manifold Box),而后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use),于进入机台腔体之前,会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机,以质流控制器(MFC, Mass Flow Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制,通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴,而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。详细的描述与讨论将在下节进行,现在仅举一简单的两种不同供气流程规划的实例,超洁净不锈钢管道、管件、阀门的定义用途:不锈钢洁净管道用于输送半导体业中高纯或超纯洁净气体,及生物制药产业中洁净管道(各种水)。表面处理方式:

RA 值的比较(Roughness Average,粗糙度平均值)

材质

表面处理方式

内表面粗糙度平均值(µm)

316L

AP

RA〈=1.0

316L

BA

RA〈=0.8

316L

EP

RA〈=0.13-0.2

2. 管件b系列

a型柔性铸铁管其在安装施工中采用柔性法兰及密封胶圈连接。具有抗震性能好,密封性强,施工简便,便于维修,使用可靠等优点。

B型柔性铸铁管综合了W型和A型铸铁管优点。直管部分采用了W型无承口铸管,管件采用双法兰结构。这种连接组合既有A型结构连接强度高和安装便捷得优点,又因采用W型直管而降低了材料成本,加之B型管件设计结构较为紧凑,较A型管件节约安装空间。

3. BA级无缝管

热轧管:3.2-6.3 冷拔管: 正常的退火管,3.0左右 一般不退火的光亮管在0.8左右,加工工艺好的光亮管在0.2-0.4。

按生产方法

钢管按生产方法可分为两大类:无缝钢管和焊接钢管,焊接钢管简称为焊管。

1. 无缝钢管按生产方法可分为:热轧无缝管、冷拔管、精密钢管、热扩管、冷旋压管和挤压管等。

无缝钢管用优质碳素钢或合金钢制成,有热轧、冷轧(拔)之分。

2.焊接钢管因其焊接工艺不同而分为炉焊管、电焊(电阻焊)管和自动电弧焊管,因其焊接形式的不同分为直缝焊管和螺旋焊管两种,因其端部形状又分为圆形焊管和异型(方、扁等)焊管。

焊接钢管是由卷成管形的钢板以对缝或螺旋缝焊接而成,在制造方法上,又分为低压流体输送用焊接钢管、螺旋缝电焊钢管、直接卷焊钢管、电焊管等。无缝钢管可用于各种行业的液体气压管道和气体管道等。焊接管道可用于输水管道、煤气管道、暖气管道、电器管道等。

按材质

钢管按制管材质(即钢种)可分为:碳素管和合金管、不锈钢管等。

碳素管又可分为普通碳素钢管和优质碳素结构管。

合金管又可分为:低合金管、合金结构管、高合金管、高强度管。轴承管、耐热耐酸不锈管、精密合金(如可伐合金)管以及高温合金管等。

按连接方式分类

钢管按管端联接方式可分为:光管(管端不带螺纹)和车丝管(管端带有螺纹)。

车丝管又分为:普通车丝管和管端加厚车丝管。

加厚车丝管还可分为:外加厚(带外螺纹)、内加厚(带内螺纹)和内外加厚(带内外螺纹)等地车丝管。

车丝管若按螺纹型式也可分为:普通圆柱或圆锥螺纹和特殊螺纹等地车丝管。

4. ba管是什么材料

是中功率管

贴片三极管基本作用是放大,它可以把微弱的电信号放大到一定强度,当然这种转换仍然遵循能量守恒,它只是把电源的能量转换成信号的能量罢了。三极管除了可以当做交流信号放大器之外,也可以做为开关之用。严格说起来,三极管与一般的机械接点式开关在动作上并不完全相同,但是它却具有一些机械式开关所没有的特点。

5. BA级不锈钢管

304ba是不锈钢管材质。

304不锈钢精密ba管是经过真空光亮退火的不锈钢管,其一般用于特殊气体或者液体输送,同时是EP管的母材。适用于生物制药,电子洁净车间厂区,高纯气体,高要求 洁净实验室,液晶显示,太阳能光伏,多晶硅等领域。

精密ba管的尺寸精度外径在51mm以下的,壁厚和外径的公差控制在±0.05mm范围以内,外径在51mm以上的,壁厚和外径的公差控制在±0.08mm范围以内。直径公差控制在±0.05mm(0.1%),长度控制为公差±3mm,还有直线度小于0.1mm/m以及同心度控制公差±0.02mm。

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