1. 光刻机量产
14纳米量产可以使用两种光刻机，一种是高端euv光刻机，一种是中端duv光刻机。euv光刻机是用于制造22纳米以下制程的，毫无疑问可以制造14纳米芯片。而duv光刻机可以在使用多次曝光等技术条件下最高达到7纳米制程，这个对技术要求非常高，目前全球也只有少数几家代工厂可以做到。
2. 国产光刻机最新消息
国产光刻机进展的程度如下。
作为国内唯一一家，全球四家之一的光刻机制造公司，上海微电子于今年通过了28纳米光刻机的技术检测和认证，目前应该处于量产阶段。该光刻机属于第四代duv光刻机，28纳米算是中端光刻机了。上海微电子将在明年向国内芯片制造企业交付28nm光刻机，这代表着国产光刻机最先进的技术水平，国产光刻机在大幅缩短与海外的技术差距。
3. 光刻机原理
是用极紫外激光在线路板上刻出线路。
4. 最先进的光刻机
目前ASML主要对外销售的光刻机设备为NXE:3400C，全新的模块化设计，也是让光刻机设备更加便于维护和维修，同时也支持7nm、5nm芯片工艺制程，而根据ASML此前所披露信息来看，目前也正在研发全新一代EUV光刻机设备EXE:5000系列，全新一代EUV光刻机设备的主要合作伙伴依旧还是卡尔蔡司、IMEC比利时微电子中心，而这次全新研发的EXE:5000系列EUV光刻机，分辨率更是直接提升了70%，意味着ASML这次所研发的EUV光刻机设备将会直接瞄准2nm，甚至是极限1nm芯片制程工艺。
5. 光刻机多少钱一台
根据ASML此前公布的数据显示，在熟练操作员的操作下，EUV光刻机的处理能力为200片12寸晶圆/小时。
但这只是理想状态，实际操作中最高为每小时处理100片左右，一天工作下来也就是1000片。 不过，这还只是晶圆，芯片产能还需要进一步计算。 以113.31平方毫米的麒麟990 5G为例，一块12英寸的晶圆在去除边角区域后，大约可生产600块芯片，数量已经十分可观。
那么，就是说一台EUV光刻机一天能生产60万片芯片? 不，这只是理想状态。 芯片制造十分复杂、严苛，稍有不慎便可能使得整片芯片废掉。 因此，还不得不考虑到良品率，这样一来，一块12英寸晶圆能生产的芯片数量便降至500片左右。
一天下来，EUV光刻机能生产50万片芯片，这一数字依旧十分惊人。
垄断全球的荷兰光刻机，一台设备卖10亿，一年能造多少颗芯片?
6. 中国能生产光刻机吗
中国最牛的光刻机生产商是上海微电子装备公司（SMEE），它可以做到的最精密的加工制程是90nm，相当于2004年最新款的 intel 奔腾四处理器的水平。别小瞧这个90nm制程的能力。这已经足够驱动基础的国防和工业。哪怕是面对“所有进口光刻机都瞬间停止工作”这种极端的情况时，中国仍然有芯片可用。
7. 光刻机国产
一支由清华大学机械工程系朱煜教授带队的清华大学研发团队，客服重重困难自主研发出了光刻机双工件台，这是中国光刻机再获得的一个重大突破。要知道光刻机制造的过程中，难度最大的就是双工件台的制造，毕竟双工件台是光刻机的两大核心部件之一，就连日本都没研发出来。有了双工件台就可以大大提高生产芯片的速度，这一成果让中国成为了世界上第二个可以生产双工件台的国家。虽然只是一个小小的成就和突破，但是也代表了中国企业发展芯片的决心，同时还显示出我国强大的自主科研能力，这一突破是中国光刻机领域的一小步，也是中国芯的一大步！
8. 中国最先进的光刻机
目前，国内最为顶尖的光刻机制造商是上海微电子，该公司主营业务就是光刻机的开发、设计和制造。目前该公司生产的光刻机产品中，最先进的制程精度为28纳米级别。预计将会在2021年进行交付，但即便是上海微电子设计的国产光刻机，依旧需要对外界采购零部件。据悉，该公司预计将会在2021年下半年推出新的光刻机，用于提升28纳米芯片的产能。但在该光刻机的零部件中，依旧使用了大量来自日本公司提供的零件。