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造光刻机有多难(造一台光刻机有多难)

来源:www.haichao.net  时间:2023-02-01 23:32   点击:136  编辑:admin   手机版

1. 造一台光刻机有多难

光刻机需要的零件众多,而且较为精密,难以制造。同时国外的技术垄断,导致无法去模仿制造。自己重新寻找途径制造的成本极高,且需要很高的试错成本。

2. 光刻机为什么难造

1.因为我们的技术有限。为了阻止我们的技术发展,西方国家阻碍了一些技术进入中国。因此,这一限制将影响中国在光刻机的发展。

2.事实上,我们的许多组件的使用取决于国际市场,在这种情况下,我们很难获得国际市场的支持。

3.ASML的成功是因为其技术的局限性,更重要的是,它把一些企业当成了自己的股东,比如三星、台积电,英特尔等等。

3. 比光刻机更难造的是什么机器

5n川光刻机和刻蚀机的区别主要表现在三个方面:

一、难度:光刻机难,刻蚀机难。

  原理:光刻机打印图纸,刻蚀机根据打印的图案蚀刻掉有图案/无图片的部分,剩下的留下。

  第三,流程操作不同

  (1)掩模版对准:利用光化学反应原理和化学物理刻蚀方法,将掩模版上的电路图形转移到单晶的表面或介质层上,形成有效的图形窗口或功能图形。在晶圆表面,电路设计图案直接由光刻技术决定,因此光刻技术也是芯片制造中的核心环节。

  (2)、刻蚀机:通过化学和物理的方法,将显影后的电路图永久准确地留在晶圆上,选择性地去除硅片上不需要的材料。有两种蚀刻方法,湿法蚀刻和干法蚀刻。

  光刻机又称掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等。

  通常,光刻工艺须经历清洗和干燥硅片表面、涂底漆、旋涂光刻胶、软烘烤、对准曝光、后烘烤、显影、硬烘烤和蚀刻的过程。

  刻蚀机等离子,又称等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子刻蚀机、等离子表面处理器、等离子清洗系统等。

  等离子蚀刻是较常见的干法蚀刻形式。其原理是暴露在电子区的气体形成等离子体,产生的电离气体和释放的高能电子组成的气体形成等离子体或离子。当电离的气体原子被电场加速时,它们会释放出足够的力,紧紧地附着在材料上,或者利用表面斥力刻蚀表面。

4. 造一台光刻机要多久

中国最少要20年左右才能造出2纳米左右的光刻机!现在世界上最先进的光刻机制造厂家是荷兰的阿斯麦公司,他最先进的光刻机是13.5nm光源的EUV光刻机,使用台积电最先进的生产工艺现阶段能达到3nm工艺节点。中国最先进的光刻机是上海微电子90nm光刻机,与世界先进水平差距比较大!

5. 为什么光刻机这么难造

就算是28nm光刻机,也是一套很复杂的设备,精密度也是很高的,开发不成功也是很正常的,只能说我们在精密工业领域还不成熟。

精密制造向来是我们的短板,而光刻机是需要各个零部件都是非常精密的,凭一国的技术很难成功,当前荷兰的光刻机是世界领先的,但也是世界各国最尖端科技的结晶

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