1. 国产光刻机厂家
目前，国内最为顶尖的光刻机制造商是上海微电子，该公司主营业务就是光刻机的开发、设计和制造。目前该公司生产的光刻机产品中，最先进的制程精度为28纳米级别。预计将会在2021年进行交付，但即便是上海微电子设计的国产光刻机，依旧需要对外界采购零部件。据悉，该公司预计将会在2021年下半年推出新的光刻机，用于提升28纳米芯片的产能。但在该光刻机的零部件中，依旧使用了大量来自日本公司提供的零件。
2. 国产光刻机生产企业
芯源微688037：光刻机龙头股。
作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代；通过多年的技术研发、实践应用积累以及持续承担国家02重大专项，公司成功突破了应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术，成型产品目前正在长江存储、上海华力等前道芯片制造厂商进行工艺验证。
3. 国产光刻机品牌
我国的光刻机技术仍然处于低端水平，上海微电子的光刻机代表我国光刻机的最高水平，制程工艺为90nm，而ASML的光刻机已经进入5nm的制程工艺，我国的高端光刻机全部依靠进口
4. 国产光刻机供应商
半导体光刻胶排名如下：
一、晶瑞电材：
公司作为国内高新技术企业，在微电子化学品的研究开发与生产当中一直处于行业领先位置，其核心产品主要包括光刻胶、功能性材料等。
二、新莱应材：
公司的核心产品均能应用于光刻胶设备当中，其客户群体当中就含有光刻胶设备制造商。
三、芯源微：
产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备。
四、亚威股份：
公司与关联方一同出资打造威迈芯材，对韩国WIMAS已经完成了收购计划，该韩国企业主要从事的是半导体化合物的生产开发与销售。
五、华懋科技：
公司旗下持股公司徐州搏康目前为国内重点量产高端光刻胶的企业，在EUV光刻胶领域当中处于国际水平的上游层次。
六、彤程新材：
公司旗下子公司北京科华微电子作为国内仅有的一家拥有荷兰曝光机的中外合资企业，在高档光刻胶自主研发以及量产能力当中也属于国家高新技术企业。
七、苏大维格：
公司作为领先行业的微纳结构生产供应商，已经实现自主研发出光刻机设备，并成立了微纳光学的研发平台，在各类型的产品中为客户提供不同的设计与服务。
八、芯碁微装：
公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务。
九、南大光电：
公司主要核心产品为ArF光刻胶产品，不仅得到了客户的使用认证，还是国内第一只通过验证的国产ArF光刻胶产品。
5. 国产 光刻机
国产光刻机可以生产国产芯片，我们的芯片被外国卡脖子，我们自己能生产就不会受制于人，台积电使用的光刻机比较先进，能生产五纳米以下的芯片，我们自己掌握了22纳米的光刻机，可以生产对体积要求没有那么敏感的芯片，比如说汽车上的芯片，大型设备上的芯片。
6. 国产光刻机厂家有哪些
1.双工件台华卓精科自2012年成立，用了10年的时间，在双工件台技术方面，取得了重大突破。2016年，华卓精科与清华大学共同研制出两套光刻机双工件台掩膜台系统α样机，并成功通过验收。2020年4月，华卓精科向上海微电子发货首台DWS双工件台，应用制程达到65nm；2021年6月，完成28nm制程ArFi光刻机的DWSi系列双工件台的详细设计，已在样机制造集成调试阶段。这项技术的重要性，不言而喻，加上华卓精科全世界只有两家拥有该技术。因此，攻破双工件台技术的壁垒，不仅打破了国外的技术垄断，更为国产光刻机的研发提供了技术保证。
2.光源系统技术国内研究光刻机的光源系统技术，属北京科益虹源最为成熟，也成功掌握了193nm ArF准分子激光器制造，可用于28nmDUV光刻机上。