1. 光刻机龙头企业上市公司
1、大族激光（002008），最新股价39.35元，总市值419.89亿：2021年6月17日公司在互动平台称：公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。
2、张江高科（600895），最新股价16.40元，总市值253.99亿：2021年3月，公司在互动平台表示，上海张江浩成创业投资有限公司2021年投资了上海微电子装备有限公司22，345万元，投资比例为10.779%。
3、晶方科技（603005），最新股价55.50元，总市值188.34亿：2021年6月，公司在互动平台表示，荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。Anteryon为全球同时拥有混合镜头、晶圆级微型光学器件工艺技术设计、特性材料及量产能力的技术创新公司，其产品可广泛应用于半导体精密设备、工业自动化、汽车、安防、3D传感器为代表的消费类电子等应用领域。
4、赛微电子（300456），最新股价21.39元，总市值136.71亿：2021年6月，公司在互动易平台披露：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。ASML为公司商业合作伙伴。公司瑞典与北京分别拥有数台光刻机；瑞典产线2021-2021年产能利用率一直保持在80%以上的高水平
5、万业企业（600641），最新股价13.92元，总市值133.34亿：全资子公司凯世通采取“领先一步”的策略、采用有国际竞争力的设计理念，着力研制16纳米及以下制程的FinFET集成电路离子注入机，并针对研制低能大束流离子注入机所需要解决的关键技术和技术难点，建立起相应的研发平台、相关核心关键技术及工艺的研究参数数据库和性能检测规范标准。2021年凯世通的低能大束流离子注入机迁机成功，顺利进入离子注入晶圆验证阶段。参股公司上海半导体装备材料基金持有华卓精科2.08%股权。
6、上海新阳（300236），最新股价41.58元，总市值120.85亿：2021年2月，公司在互动易平台表示，中芯国际是公司的主要客户之一。2021年2月，公司在互动易平台披露，公司KRF光刻机能支持96层3DNAND用光刻胶研究，及250nm、130nm工艺制程逻辑电路用光刻胶研究。公司正在加快开发第三大核心技术——光刻技术，在集成电路制造用ArF干法、KrF厚膜胶、I线等高端光刻胶领域已有重大突破。同时，积极布局半导体硅片、半导体湿法工艺设备、平板液晶显示用光刻胶等业务领域。
7、南大光电（300346），最新股价28.13元，总市值114.46亿：超募资金投资”ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目。
8、飞凯材料（300398），最新股价15.60元，总市值80.47亿：公司从事PCB光刻胶专用化学品。
9、*ST胜利（002426），最新股价2.08元，总市值71.58亿：胜利精密计划募资不超过20亿元，投向光刻机产业化。
10、华特气体（688268），最新股价57.49元，总市值68.99亿：华特气体是特种气体龙头企业。
2. 光刻机龙头企业上市公司名单
01 北方华创
02 芯源微
03 清溢光电
04 华特气体
05 大族激光
06 永太科技
07 奥普光电
08 胜利精密
09 南大光电
10 容大感光
蓝英装备
上海新阳、
3. 中国光刻机龙头企业上市公司
2021年中国光刻机行业进出口贸易市场现状分析 进口占主导地位、日本和荷兰为主要进口地。
由于光刻机是技术壁垒极高的产品，受技术限制，我国光刻机需求高度依赖进口，数据显示，2020年，我国光刻机行业的进出口总额为19.5亿美元，而贸易逆差达17.59亿美元。
2017-2020年，我国光刻机进口数量和进口金额均先将后升。2020年，进口数量为239台，进口金额为18.55亿美元;2021年1-7月，进口数量和金额分别为248台、6.7亿美元，均超过了2020年全年水平。
从进口来源地来看，2020年，我国从日本进口的光刻机数量最多，达128台，但从进口金额来看，我国从荷兰进口的光刻机金额最多，占进口总额的89%，这主要是由于全球光刻机市场主要有三大企业占领，分别是荷兰ASML、日本的尼康和佳能，其中荷兰ASML在高端光刻机市场占绝对龙头地位。
从进口企业注册地来看，2020年，江苏省、上海市进口的光刻机数量最多，分别为70台和67台，主要因为这两个省市拥有较多的芯片制造企业，而光刻机是芯片制造的核心设备。
4. 光刻机龙头企业上市公司有几家
光刻机是用于芯片制造的核心设备，按照用途可以分为用于生产芯片的光刻机、用于封装的光刻机和用于LED制造领域的投影光刻机
光刻机的核心原理就是一个透镜组，在精度上首先有个概念：现在芯片的线条精度已发展到10nm级别，而较大的原子直径是将近1nm，把芯片放在电子显微镜下即可清晰地数出每个线条上有几个原子。
芯源微、华特气体、清溢光电等光刻机龙头可大胆买入，长线持有。
5. 国内光刻机上市企业
上海微电子是半导体行业的上市公司，公司坐落于张江高科技园区。
公司成立于2002年，主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发，生产销售与服务，IC制造与先进封装，MEMS ,TSV/3D，TFT -OLED等制造领域。
公司致力于以极致服务，造高端产品，创卓越价值，全天候，全方位，全身心地为顾客提供优质产品和技术支持与服务。
6. 光刻机上市公司龙头股
芯源微688037：光刻机龙头股。
作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代；通过多年的技术研发、实践应用积累以及持续承担国家02重大专项，公司成功突破了应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术，成型产品目前正在长江存储、上海华力等前道芯片制造厂商进行工艺验证。
7. 光刻机的龙头企业
前三名：华特气体项目主要集中在A/F/Ne、Ge/等四个方面。
大族激光光刻机项目分辩率3至5um，主要集中在分立器件、LeD方面。芯源微是半导体研发方面。